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问答题

简答题 扫描电电子显微镜主要由几部分组成?

【参考答案】

扫描电子显微镜主要有电子光学系统、真空系统、电器系统三部分,另外还有信号检测系统。如果配置了能谱仪,则还有包括特征X射线处理系统。