1）微量进给和粗进给应分开，以提高微位移精度、分辨率和稳定性。 2）运动部分应是低摩擦、高稳定，以实现高的重复精度。 3）末级传动元件刚度高。 4）微量进给装置机构内部连接可靠，尽量采用整体结构或刚性连接。 5）工艺性好，容易制造。 6）应具有好的动态特性，高的频率响应。 7）微量进给装置能实现自动控制。
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