问答题

简答题例出典型的硅片湿法清洗顺序。

【参考答案】

硅片清洗步骤：
（1）H₂SO₄/H₂O₂（piranha）：有机物和金属；
（2）UPW清洗（超纯水）：清洗；
（3）HF/H₂O（稀HF）：自然氧化层；......

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