问答题

简答题单晶中的杂质析出和杂质条纹对单晶质量危害很大，应尽量消除。生产中消除杂质析出和杂质条纹主要采取以下几种措施。

【参考答案】

一、选择合适的热系统，热场是硅单晶生长的重要部分热场的优劣严重影响硅单晶的生长质量。
二、在保证硅单晶电阻率合适情况下，尽量减少掺杂量，避免由分凝效应生长界面附近熔硅中杂质过饱和。
三、适当增大籽晶转速和坩埚转速，加强熔硅搅拌，使结晶分凝效应排出的杂质尽快扩散，保持熔硅杂质浓度分布均......

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