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单项选择题

A.等离子气,冷却气,载气B.冷却气,载气,等离子气C.冷却气,等离子气,载气ICP仪炬管的外管进(),中管进……

ICP仪炬管的外管进(),中管进(),内管进()。

A.等离子气,冷却气,载气
B.冷却气,载气,等离子气
C.冷却气,等离子气,载气