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问答题

简答题 简述MOS集成电路工艺中提高场开启电压的方法?

【参考答案】

①加厚场氧化层的初始厚度,并严格控制随后加工中的腐蚀量。
②在场区注入(或扩散)与衬底同型的杂质,以提高衬底表面浓度,但掺入杂质要适当。