由于阴极射来的电子欲击出靶材的原子内层电子，比如k层电子，必须使其动能大于k层电子与原子核的结合能Ek或k层的逸出功Wk。即有eVk=1/2mv2〉-Ek=Wk，故存在阴极电子击出靶材原子k电子所需要的临界激发电压Vk。
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