填空题超纯水一般分为一级和二级两种，25℃条件下其电阻率标准分别为（）兆欧•厘米和（）兆欧•厘米。
填空题离子交换树脂呈球状颗粒，不溶于水，不溶于酸碱和有机溶剂，对一般的（）和（）具有相当程度的化学稳定性，具有一定的机械强度。
填空题通常在硅单晶生产清洗中所用的纯水，25℃时电阻率在（）欧姆•厘米以上，但是此种水仍含有1毫克 升的杂质。
填空题纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。
填空题目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。
