硅沉着病的基本病变是由于二氧化硅在肺内蓄积引起的肺及肺门淋巴结内形成硅结节，间质纤维化及代偿性肺气肿。硅结节肉眼观为圆形或卵圆形、边界清楚、灰白色、质硬的小结节，触之有沙粒感。孤立的结节可互相融合成大的融合性硅结节。镜下：典型硅结节由呈同心层状或旋涡状排列，并已呈玻璃样的胶原纤维组成。
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