填空题集成温度传感器是利用PN结的（）与温度之间的关系研制成的一种固态传感器。
填空题电涡流传感器根据激励频率高低可分为高频反射式和（）。
填空题电涡流传感器根据激励频率高低，可分为高频反射式或（）两大类。
填空题为减少霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件或采用恒温措施外，还可以采用霍尔元件（）供电。
填空题压电陶瓷所以具有压电效应，是由于内部存在（）。
