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问答题

简答题 晶体旋转和坩埚旋转对单晶生长界面有何影响?

【参考答案】

晶体旋转时,带动晶体附近的熔硅一起转动。晶体生长界面各处由转动产生的离心力不同,晶体中心离心力最小,边缘离心力最大,在离心力的作用下,熔体沿晶体半径向外流出,抑制了温度较高的熔体由于自然对流向晶体中心移动,由于温度和力学因素作用,单晶边缘生长较快,使单晶生长界面改变。通常情况下,随着晶体转速的增加,......

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