A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
多项选择题油扩散泵的优点是什么（）？
A.构造简单、故障少B.价格低廉C.低振动低噪音D.可高速运转
多项选择题离子溅射泵的特点是什么（）？
A.无机械运动部分B.无振动C.无需再生D.无噪音
多项选择题属于高真空泵的是哪一种（）？
A.分子泵B.扩散泵C.油回转泵D.低温泵
多项选择题油扩散泵的缺点是什么（）？
A.噪音大B.需要水冷挡板C.启动停止需要时间D.存在油污染
多项选择题检漏仪灵敏度下降的原因有（）。
A.离子源老化B.分析部污染C.内漏D.设定参数不对
