问答题

简答题选择监测站点的考虑为何？

【参考答案】

① 以Zone partition的观念，两个监测站点不可相隔太多工艺的步骤。
② 由yield loss analysis手法找出对良率影响最大的站点。
③ 容易作线上缺陷分析的站点。

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