简答题 简述什么是浮动抛光

【参考答案】

浮动抛光是一种平面度极高的非接触超精密抛光方法。其装置为高回转精度的抛光机，并采用高平面度平面并带有同心圆或螺旋沟槽的锡抛光盘，抛光液覆盖在整个抛光盘表面上，抛光盘及工件高速回转时，在二者之间的抛光液呈动压流体状态，并形成一层液膜，从而使工件在浮起状态下进行抛光。