简答题 简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理？

【参考答案】

1.二极直流溅射：靶材为良导体，依靠气体放电产生的正离子飞向阴极靶，一次电子飞向阳极，放电依靠正离子轰击阴极所产生的二次电子，经阴极加速后被消耗补充的一次电子维持。
2.三极或四极溅射：热阴极发射的电子与阳极产生等离子体，靶相对于该等离子体为负电位.为把阴极发射的电子全部吸引过来，阳极上加......

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