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多项选择题

A.系统的真空度B.基片的清洁度C.实验室的温度D.基片的温度薄膜制备过程中,影响薄膜质量的因素()。……

薄膜制备过程中,影响薄膜质量的因素()。

A.系统的真空度
B.基片的清洁度
C.实验室的温度
D.基片的温度