A.光衍射效应B.光波波长C.光干涉效应D.光折射效应用于微观表面三维形貌测量的光探针尺寸决定于（）……

多项选择题相移式光栅投影表面三维形状测量技术的优点（）

A.实现了点对点求解初相位
B.需要进行相移
C.精度高
D.测量速度相对较慢

多项选择题微观表面三维形貌光学焦点测量技术的特点（）

A.适合加工现场的使用
B.被测表面的反射率有要求
C.对表面倾斜很敏感
D.要求被测表面必须保持洁净、无水和油质，以保证测量结果

多项选择题微观表面三维形貌测量技术包括（）

A.原子力显微镜
B.光学焦点探测仪
C.扫描电子显微镜
D.探针轮廓仪

多项选择题傅里叶变换光栅投影表面三维形状测量技术的优点（）

A.可用于动态测量
B.速度快
C.测量精度相对较低
D.只需要一帧或两帧条纹图

单项选择题基于光栅投影的光学表面三维形状测量技术关键是（）

A.测量条纹间距
B.测量条纹宽度
C.解调出被测表面上各点的相位
D.测量条纹对比度