当观察到溅镀机真空泵油较少时(低于下液位时)需要回流新油(N62)。 (1)将溅镀机打开OFF状态,然后用内六角打开加油口及排气孔,用专用导管将泵内殘油排净。 (2)拆下专用导管加注新油,在油液位标记范围内,不能太多,否则开机时油会被挤压出来,损坏密封件。
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