找考题网-背景图
多项选择题

A.常压化学气相沉积B.低压化学气相沉积C.等离子体增强化学气相沉积D.高压气相沉积化学气相沉积(CVD)按照……

化学气相沉积(CVD)按照反应气压进行分类,可以分为()。

A.常压化学气相沉积
B.低压化学气相沉积
C.等离子体增强化学气相沉积
D.高压气相沉积