（1）注塑机：先把模具合上，关闭电源； （2）模温机：先把温度降下来，把泵关闭，再关电源； （3）溅镀机：把分子泵关闭，等转速降下来，关闭电源； （4）后段、旋涂：先关闭PLC，再关电源。
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