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单项选择题

A.不变B.增大C.减小D.不一定利用衍射分布特征尺寸进行衍射测量时,当被测尺寸减小时,测量灵敏度如何变化?(……

利用衍射分布特征尺寸进行衍射测量时,当被测尺寸减小时,测量灵敏度如何变化?()

A.不变
B.增大
C.减小
D.不一定