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问答题

简答题 例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。

【参考答案】

连续喷雾显影、旋覆浸没显影。
显影温度,显影时间,显影液量,硅片洗盘,当量浓度,清洗,排风。