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单项选择题

A.显影机B.曝光机C.OVEND.CoaterCF工程中,最贵、对Pattern样子的形成起决定作用的设备是……

CF工程中,最贵、对Pattern样子的形成起决定作用的设备是()

A.显影机
B.曝光机
C.OVEN
D.Coater