问答题

简答题如何解决MOS器件的场区寄生MOSFET效应？

【参考答案】

在第二次光刻生成有源区时，进行场氧生长前进行场区离子注入，提高寄生MOSFET的阈值电压，使其不易开启；增加场氧生长厚度，使寄生MOSFET的阈值电压绝对值升高，不容易开启。

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