问答题

简答题什么叫物理气相沉积，有何优缺点？

【参考答案】

物理气相沉积是在高真空容器中，Ti受热蒸发，蒸发出来的原子与通入工作室中的气体相遇（按比例），并被离子激活，在工件负偏压吸引下，以较大能量射向工件表面，形成TiC或TiN沉积层，层厚一般为1～3mm，TiN的沉积层表面硬度为HV2400左右。它与化学气相沉积的不同点在于温度，化学气相沉积温度高，沉积...

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