填空题柔性制造系统的组成包括：（），（），（）和一套计算机控制系统。
填空题大规模集成电路的微细制作方法有（），（），（），（），（）。
填空题常用的看板有（），（）两种。
填空题快速原型制造技术的熔丝沉积成形法通常采用的原材料是（）。
填空题精密与超精密加工有色金属时，常用的刀具材料为（）。
