判断题起到真空和大气压转换作用的是Transfer Chamber。
判断题Pattern形成由Sputter工程进行控制。
判断题在冷却系统中用于隔离Lamp区域和Glass区域的是Water Filter。
判断题若研磨量太小会造成Shorting Bar残留，从而影响画面驱动。
判断题TF 3个工程工艺进行时真空度最高的是Dry Etch。
