旋片泵的极限真空决定于转子和泵腔及旋片所形成的有害空间
问答题如何评价泵的基本性能?
问答题辉光放电的等离子区中电离度是多少?
问答题放电过程中为什么会发光?
问答题放电的本征区域是什么?为什么?
问答题汤生放电阶段中包含哪几类重要的物理过程?