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名词解释

光刻胶

【参考答案】

感光性树脂受光的照射而产生化学反应(交联或降解)或其他结构变化,使溶解性能发生显著变化,不溶解的树脂对底材具有抗化学腐蚀的作用,这种感光性树脂就叫做光抗蚀剂或光刻胶。