简答题 什么是二次电子？二次电子有什么特点？

【参考答案】

1、二次电子：入射电子与核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级或脱离原子核成为二次电子；
2、特点：能量低：＜50ev；反映试样表面10nm层内的状态；成像分辨率高。二次电子发射系数δ与入射束的能量有关，因此二次电子成像时要选择适当的加速电压。二次电子发射系数和试样表面倾角&th......

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