简答题 电容式传感器有哪三大类？分别适用于测量哪些物理量？

【参考答案】

电容式传感器分为变面积式电容传感器、变间隙式电容传感器、变介电常数式传感器。变面积式电容传感器可用于检测位移、尺寸等参量；变间隙式电容传感器可以用来测量微小的线位移；变介电常数式传感器可以用来测定各种介质的物理特性（如湿度、密度等）。