简答题 与XPS比较，AES分析有哪些特点？

【参考答案】

1、AES具有很高的表面灵敏度，其采样深度为1～2nm，比XPS还要浅。更适合于表面元素定性和定量分析。
2、AES还具有很强的深度分析和界面分析能力。其深度分析速度比XPS要快得多，深度分析的深度分辨率也比XPS的深度分析高得多。常用来进行薄膜材料的深度剖析和界面分析。
3、A......

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