简答题 简述化学气相沉积的特点。

【参考答案】

①在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而沉积固体；
②可以在大气压（常压）或者低于大气压（低压）下进行沉积。一般说低压效果要好一些；
③采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行；
④镀层的化学成分可以改变，从而获得梯度......

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