当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度时，我们将这样的固体或液体称为膜。通常，膜可分为两类： （1）厚度大于1mm的膜，称为厚膜； （2）厚度小于1mm的膜，称为薄膜。
问答题简述影响溅射收益的因素。
问答题简述溅射的四要素。
问答题简述溅射的基本内容。
问答题薄膜的主要分析方法有哪些？基本原理是什么？
问答题简述薄膜的主要缺陷类型及特点。
