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单项选择题

A.溅射沉积是加速后的离子直接射向工件B.离子源是各种设备所共有的关键部分C.材料的溅射率与离子束的入射角有关……

关于离子束加工,以下说法中不正确的是()。

A.溅射沉积是加速后的离子直接射向工件
B.离子源是各种设备所共有的关键部分
C.材料的溅射率与离子束的入射角有关