A.光刻B.印刷C.打印D.卷对卷制备
多项选择题微纳图案制备过程中所用到的印刷方法包括哪些？（）
A.凸版印刷B.软刻蚀C.丝网印刷D.纳米压印
多项选择题化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为（）。
A.常压化学气相沉积B.低压化学气相沉积C.等离子体增强化学气相沉积D.高压气相沉积
单项选择题以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）
A.薄膜成分易控B.温度高C.均匀性D.台阶的覆盖性好
多项选择题以下哪些是蒸发沉积的要素？（）
A.真空B.氧气C.加热D.温度较低基片
多项选择题实现应变隔离的方法有哪些？（）
A.整体硬化B.局部硬化C.整体软化D.局部软化
