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多项选择题

A.湿法比干法的选择性好B.干法比湿法的保真度好C.干法比湿法的图形分辨率低D.湿法比干法的设备更复杂关于湿法……

关于湿法刻蚀和干法刻蚀,下列哪种说法正确?()

A.湿法比干法的选择性好
B.干法比湿法的保真度好
C.干法比湿法的图形分辨率低
D.湿法比干法的设备更复杂