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问答题

简答题 什么是贝尔比层?它有什么特点?

【参考答案】

金属在切割、研磨和抛光时,表面原子来不及回到平衡位置,造成一定程度的晶格畸变,深度可达几十微米。这种晶格畸变是随深度变化的,而在最外层约5nm-10nm厚度可能会形成一种非晶态层,该膜层就称为贝尔比层。
其成分为金属和它的氧化物,而性质与体内明显不同。
贝尔比层具有较高的耐磨性和耐蚀性,这在机械制造时可以利用。但是,在其它许多场合,贝尔比层是有害的,例如,在硅片上进行外延、氧化和扩散之前要用腐蚀法除掉贝尔比层,因为它会感生出位错、层错等缺陷而严重影响器件的性能。