填空题目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。
填空题加热器是根据直拉单晶炉的（）和所拉制单晶的（）等条件确定的，一般设计成（）电路形式。
填空题常见的加热器有三种形状，筒形、杯形、螺旋形，目前绝大多数加热器为（）。
填空题直拉法生长单晶硅的热场，沿[111]晶向生长的纵向温度梯度（）沿[110]晶向生长的纵向温度梯度，沿[100]晶向生长的纵向温度梯度（）。
填空题硅单晶各晶面之间的（）是不同的，各晶面上的原子密度也不同。
