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填空题纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。
填空题目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。
填空题加热器是根据直拉单晶炉的（）和所拉制单晶的（）等条件确定的，一般设计成（）电路形式。
填空题常见的加热器有三种形状，筒形、杯形、螺旋形，目前绝大多数加热器为（）。
填空题直拉法生长单晶硅的热场，沿[111]晶向生长的纵向温度梯度（）沿[110]晶向生长的纵向温度梯度，沿[100]晶向生长的纵向温度梯度（）。
