填空题超精密切削时积屑瘤对加工表面粗糙度的影响：积屑瘤高度大时（）；积屑瘤小时（）。
填空题超精密切削时积屑瘤对切削过程的影响：积屑瘤高时（），积屑瘤小时（）。
填空题床身和导轨的材料主要有（）、（）、（）三种。
填空题超精密切削实际能达到的最小切削厚度与金刚石刀具的（）、使用的超精密机床的（）、切削时的（）等都直接有关。
填空题精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。
