简答题 简述电子束加工特点.

【参考答案】

（1）电子束加工时，电子束聚焦直径小，可实现精密微细的加工。
（2）电子束加工属非接触式加工，工件不受机械力作用，不产生宏现应力和变形。
（3）加工材料范围很广，对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
（4）电子束的能量密度高，因而加工生产率很高。
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