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问答题

简答题 简述电子束加工特点.

【参考答案】

(1)电子束加工时,电子束聚焦直径小,可实现精密微细的加工。
(2)电子束加工属非接触式加工,工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
(3)加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
(4)电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。
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