简答题 简述真空蒸镀法薄膜的成核—小岛阶段。

【参考答案】

当入射的蒸发材料粒子被基片吸附，在基片上形成膜层的最初阶段是出现大量的晶核，核的直径约2nm，核间距离为30nm左右。被吸附的原子越来越多，形成了不同形状的小岛。在瞬间里原子相互结合的过程如下：两个各自独立存在的原子→吸附的原子越来越多→接触处逐渐变大→原子连成小岛。