问答题简述旋片机械泵、油扩散泵、分子泵的工作原理及性能特点?
问答题试述真空各区域的气体分子运动规律。
问答题简述真空的概念?怎样表示真空程度,为什么说真空是薄膜制备的基础?
问答题薄膜外延生长的概念?影响实现外延生长主要因素是什么?
问答题从沉积速率和沉积温度出发,简述如何形成单晶或者粗大晶粒?如何形成多晶、微晶甚至非晶?请给出简单图示?