1、三级水可以采用蒸馏、反渗透或离子等方法制备。 2、二级水可以用制三级水的方法或去离子后再用蒸馏等方法制备。 3、一级水可以将二级水经过蒸馏、离子交换混合床和0.2微米的过滤膜的方法或用石英装置进一步蒸馏制备。
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