内氧化是钢件在碳氮共渗时，钢中合金元素及铁原子被氧化的结果。经内氧化的钢件表层存在黑色点状、条状或网状的氧化物以及氧化物在抛光时脱落而形成的微孔。另外黑色网络及黑色组织是内氧化的试样经酸浸后，在孔洞周围形成的奥氏体分解产物屈氏体和索氏体。这些缺陷分布在表面深度不大的范围内。
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