简答题 如何利用CVD制备金属间化合物薄膜？

【参考答案】

一般认为CVD成膜有几个主要阶段：反应气体向衬底表面的输送扩散；反应气体在衬底表面的吸附；衬底表面气体间的化学反应，生成固态和气态产物，固态生成物粒子经表面扩散成膜；气态生成物由内向外的扩散和表面解吸；衬底表面有足够的反应气体供应。