问答题

简答题英国Cranfield公司生产的OAGM2500大型超精密机床的主要技术性能。

【参考答案】

最大加工尺寸2500mm×2500mm×610mm，有Φ2500mm的高精度回转工作台，机床的x和y向导轨采用液体静压，z向的磨轴头和测量头采用空气轴承，用分辨力为2.5nm的ZYGO AXIOM双频激光测量系统检测运动位置，并向数控系统反馈控制。

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