简答题 什么是特征尺寸？它对集成电路工艺有何影响？

【参考答案】

集成电路中半导体器件的最小尺寸如MOSFET的最小沟道长度。是衡量集成电路加工和设计水平的重要标志。它的减小使得芯片集成度的直接提高。