A.酸碱性气体B.有机性气体C.特殊毒性气体D.水蒸汽E.中性气体空气污染物按照处理性质来分：有（）。……

多项选择题净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。

A.一般排气系统
B.特殊排气系统
C.制程排气系统
D.专用排气系统
E.排气排水系统

多项选择题静电释放带来的问题有哪些（）。

A.金属电迁移
B.金属尖刺现象
C.芯片产生超过1A的峰值电流
D.栅氧化层击穿
E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面

单项选择题由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。

A.几伏
B.几十伏
C.几百伏
D.几万伏

单项选择题ESD产生（）种不同的静电总类。

A.1
B.4
C.3
D.2

单项选择题静电释放的英文简述为（）。

A.ESC
B.SED
C.ESD
D.SEM